膜基性能匹配對硬質薄膜摩擦學行為的影響

硬質薄膜常被用于提高零部件的摩擦學性能，但在設計和選擇薄膜材料和制備方法時，往往忽視基體材料與薄膜材料的性能匹配。研究表明，硬質薄膜與基體材料性能上的差異會在很大程度上影響薄膜的摩擦學行為，在一些情況下，硬質薄膜會導致基體更容易發生塑性變形而降低膜基系統的整體性能，即所謂的弱化效應。本文介紹弱化效應的基本概念，利用物理氣相沉積方法在不同的基體上制備了硬性薄膜，試驗研究了膜基材料的性能匹配對薄膜摩擦學行為的影響。利用計算機模擬，研究了不同的膜基結構對膜基系統能力的影響規律。